n 产品介绍
双面点针探针台可用于晶圆和PCB板测试,用于需要正面和背面同时扎针,以实现各种光/电性能测试需求的测试设备。该定制探针台具有优良的机械系统,稳定的结构,符合人体工学,以及多项升级功能。可广泛应用于集成电路、Wafer , LED、LCD、太阳能电池等行业的制造和研究领域。
n 产品特点
- 最大样品可测试8英寸晶圆;
- 显微镜龙门架固定结构,提高稳定性以及移动精度;
- 可搭配单筒显微镜、体式显微镜、金相显微镜;
- 气动升降平台,可双面点针,落下可作单面探针台使用;
- 样品台气动移动装置,便于大范围移动样品;
- 可进行I/V、C/V、射频测试、光电测试等;
- 模块化设计,可满足客户定制化需求;
n 产品参数
型号 技术参数 | 双面探针台 |
探 针 台 台 体 | chuck尺寸 | 8英寸 |
水平旋转 | 卡盘可以360度旋转,细调精度不大于0.1度,带有锁定旋钮 |
XY移动行程 | 8英寸*8英寸 |
XY移动精度 | 10um/1um可选 |
样品固定 | 样品夹定,尺寸可调;真空吸附固定,卡盘多圈吸附环可独立控制 |
双面点针平台 | 气动升降平台升起为双平台,落下可做单平台使用 |
平台针座数量 | 单平台最多放置8个针座 |
卡盘结构 | 普通/高温/带背电极等结构卡可选择 |
温 控 系 统 | 温度范围 | 室温~300℃ (400℃,500℃可选) |
温控精度 | 0.1℃ |
温控稳定性 | ±1℃ |
温控传感器 | 100 Ω 铂电阻传感器 |
正 面 光 学 系 统 | CCD | 200W/500W/1200W像素可选(正反面) |
显微镜类型 | 单筒/体视/金相显微镜可选 |
放大倍率 | 16X-100X/20X-2000X |
显微镜调节 | 水平方向绕立柱旋转X-Y移动2*2英寸,Z轴行程50.8mm |
光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 |
背 面 光 学 系 统 | 显微镜类型 | L型单筒显微镜 |
连续变倍比 | 6.3:1 |
放大倍率范围 | 0.75 – 5X |
放大倍率 | 315X(计算公式:变焦*CCD*显示器) |
显微镜调节 | 万向移动 |
光源 | 同轴光源 |
探 针 座 | X-Y-Z行程 | 12mm*12mm*12mm |
移动精度 | 5um/2um/1um/0.7um/0.5um |
探 针 夹 具 | 探针夹具 | 同轴线缆/三轴线缆 |
漏电精度 | 同轴夹具10pA/三轴夹具100fA |
接头类型 | 三轴接头/同轴接头/香蕉头/鳄鱼夹/裸线接口/SMA/射频接头等 |
探 针 | 材质 | 钨钢/铍铜 |
针尖半径 | 0.2um/0.5um/1um/2um/5um/10um/20um/50um/100um |
其 他 | 其他选件 | 高温配置/镀金样品台/三轴高温卡盘/屏蔽箱/光学平台/转接头/转接线等 |
电力需求 | 220V/50Hz |
可搭配仪器 | 源表/半导体参数分析仪/万用表/示波器/网络分析仪等 |