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双面探针台

双面探针台

品牌 煜芯科技
特点 双面点针探针台可用于晶圆和PCB板测试,用于需要正面和背面同时扎针,以实现各种光/电性能测试需求的测试设备。该定制探针台具有优良的机械系统,稳定的结构,符合人体工学,以及多项升级功能。可广泛应用于集成电路、Wafer , LED、LCD、太阳能电池等行业的制造和研究领域。
应用 IV测试/CV测试/RF测试
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n 产品介绍

双面点针探针台可用于晶圆和PCB板测试,用于需要正面和背面同时扎针,以实现各种光/电性能测试需求的测试设备。该定制探针台具有优良的机械系统,稳定的结构,符合人体工学,以及多项升级功能。可广泛应用于集成电路、Wafer , LED、LCD、太阳能电池等行业的制造和研究领域。

n 产品特点

- 最大样品可测试8英寸晶圆;

- 显微镜龙门架固定结构,提高稳定性以及移动精度;

- 可搭配单筒显微镜、体式显微镜、金相显微镜;

- 气动升降平台,可双面点针,落下可作单面探针台使用;

- 样品台气动移动装置,便于大范围移动样品;

- 可进行I/V、C/V、射频测试、光电测试等;

- 模块化设计,可满足客户定制化需求;


  n 产品参数

型号

技术参数

双面探针台

chuck尺寸

8英寸

水平旋转

卡盘可以360度旋转,细调精度不大于0.1度,带有锁定旋钮

XY移动行程

8英寸*8英寸

XY移动精度

10um/1um可选

样品固定

样品夹定,尺寸可调;真空吸附固定,卡盘多圈吸附环可独立控制

双面点针平台

气动升降平台升起为双平台,落下可做单平台使用

平台针座数量

单平台最多放置8个针座

卡盘结构

普通/高温/带背电极等结构卡可选择

温度范围

室温~300℃ (400℃,500℃可选)

温控精度

0.1℃

温控稳定性

±1℃

温控传感器

100 Ω 铂电阻传感器

CCD

200W/500W/1200W像素可选(正反面)

显微镜类型

单筒/体视/金相显微镜可选

放大倍率

16X-100X/20X-2000X

显微镜调节

水平方向绕立柱旋转X-Y移动2*2英寸,Z轴行程50.8mm

光源

外置LED环形光源/同轴光源

显微镜类型

L型单筒显微镜

连续变倍比

6.3:1

放大倍率范围

0.75 – 5X

放大倍率

315X(计算公式:变焦*CCD*显示器)

显微镜调节

万向移动

光源

同轴光源

X-Y-Z行程

12mm*12mm*12mm

移动精度

5um/2um/1um/0.7um/0.5um

探针夹具

同轴线缆/三轴线缆

漏电精度

同轴夹具10pA/三轴夹具100fA

接头类型

三轴接头/同轴接头/香蕉头/鳄鱼夹/裸线接口/SMA/射频接头等

材质

钨钢/铍铜

针尖半径

0.2um/0.5um/1um/2um/5um/10um/20um/50um/100um

其他选件

高温配置/镀金样品台/三轴高温卡盘/屏蔽箱/光学平台/转接头/转接线等

电力需求

220V/50Hz

可搭配仪器

源表/半导体参数分析仪/万用表/示波器/网络分析仪等


煜芯科技
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