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产品详情
非真空高低温探针台

非真空高低温探针台

品牌 煜芯科技
特点 -采用 Nitrogen On Cycle 技术;   -采用进口温度芯片在线监测温度,同时兼容制冷机或液氮方式制冷;低温下无结霜现象  -兼容 8 寸及以下或单芯片测试  -支持 DC~67GHz 射频测试  -快速装片功能
应用 IV测试/CV测试/RF测试
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n 产品介绍

一款用于8 英寸及以下尺寸的晶圆、芯片、MEMS 器件、二维材料测试的专业探针台。可进行 I/V 测试、C/V 测试、RF测试等应用。主体部分采用微腔结构,芯片和探针均在腔体内部环境中,采用 Nitrogen On Cycle 技术,结合氮气浓度检测装置(湿 度检测单元)以确保腔内水气的控制;避免在低温测试时结霜问题导致芯片损坏的发生。

载物台(CHUCK)同时具备冷/热控制,应用上可以媲美国外进口卡盘。 载物台作为核心单元,采用了进口温度芯片在线监测的设计,确保测试时载物台的温度准确性。 整个探针台系统采用功能单元式设计,占用空间小,操作灵活,方便维护和后期升级。

n 产品特点

- 采用Nitrogen On Cycle 技术;   

- 采用进口温度芯片在线监测温度,同时兼容制冷机或液氮方式制冷;低温下无结霜现象

- 兼容8 寸及以下或单芯片测试

- 支持DC~67GHz 射频测试

- 快速装片功能


n 产品参数

非真空高低温探针台

卡盘(CHUCK)大小

8英寸

卡盘X/Y位移

8英寸*8英寸

卡盘升降(大范围升降)

60mm

卡盘升降(小范围升降)

3mm或6mm或其他高度(选配)

卡盘旋转

±5°(粗细微调)

卡盘表面材质

镀金、镀镍、镀铬、绝缘陶瓷

制冷方式

液氮制冷--标配 /空气压缩机制冷--选配

温控范围

-60℃/-55℃至100℃/150℃/200℃/300℃

样品固定方式

真空吸附、吸附孔搭配吸附槽

探针座数量

可放置8个针座(可加载探卡)

探针台尺寸

670毫米*775毫米*850毫米(长*宽*高)

显微镜类型

同轴显微镜(标配)

体式显微镜

金相显微镜

最大倍率

150X

50X~100X

200X/500X/1000X

显微镜X/Y位移

50mm*50mm

光源

LED光源、同轴光源、冷光源

工业相机

高清1080P/720P;带拍照、录像、测量功能

探针座X-Y-Z行程

12mm*12mm*12mm

固定类型

磁性吸附/螺丝固定

移动精度

±0.7um/±0.5um

倾斜角度

最大30°精细微调,微分头调节

探针夹具

射频探针装置(支持探针频率:dc~6700GHz)/三轴探针夹具

漏电精度

100fA

接头类型

SMA、3.5mm、2.92mm、2.4mm、1.0mm、三轴接头(公)

探针针尖半径

0.5um/1 um/2um/5um/10um/20um/50um/100um(可选)

探针材质

钨钢/铍铜/镀镍

光学隔震平台

阻尼隔震式、气浮隔震式(可选)

平台大小

1000毫米*1000毫米*700毫米(长*宽*高)

以上参数仅供参考,购买以实际为准


煜芯科技
专业、诚信、务实、共赢 专业探针台生产厂家
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