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L-6 6寸探针台

品牌 煜芯科技
型号 L-6
特点 升级型探针台系统,基本配置加强,可选配置增多
应用 IV测试/CV测试/RF测试
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n 产品介绍

L系列探针台是我司一款增强型晶圆测试探针台,最大可完成12英寸晶圆的电学测试。此系列探针台采用高刚性显微镜龙门结构,显微镜可X-Y-Z方向进行精密位移调节。卡盘具备上下调节功能,可以使探针与样品快速分离,提高测试效率,在科研单位和半导体工厂都得到了广泛运用,配合对应的仪器仪表,可以完成集成电路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性测试/管芯晶圆/LED/LCD能电池行业的测试。此系列探针台可以实现1μm以上的Pad电极测试。

n 产品特点

- 最大样品可测试12英寸晶圆;

- 显微镜龙门架固定结构,提高稳定性以及移动精度;

- 可搭配单筒显微镜、体式显微镜、金相显微镜;

- 针座平台升降功能,方便更换样品,提高测试效率;

- 样品台气动移动装置,便于大范围移动样品;

- 可进行I/V、C/V、射频测试、光电测试等;

- 模块化设计,可满足客户定制化需求;


n 产品参数

产品型号

技术参数

L-6

L-8

L-12

样品台

6 英寸

8 英寸

12英寸

样品台材质

不锈钢可选材质铝合金/黄铜镀金/绝缘材质

样品台是否接地

样品台对地绝缘,可做背电极使用可选样品台接地

样品固定

真空吸附,三个独立开关控制

样品台XY移动行程

粗调155mm*155mm微调25mm*25mm

样品台XY移动精度

粗调+微调(1um

样品台旋转

360度旋转,±10度可微调

样品台Z轴升降

10mm升降行程

样品台抽拉行程

可快速抽拉100mm,便于快速更换样品


材质

含磁不锈钢,表面电镀防生锈氧化

可容纳针座数量

6

8

10个

结构

U 型结构,可兼容探针卡

显微镜类型

单筒显微镜、体视显微镜金相显微镜

显微镜倍率

最大2000X

调焦范围

50.8mm

显微镜X-Y移动行程

50mm*50mm

CCD成像系统

2K或4k相机,帧率60pfs,有拍照/录像/测量功能

X-Y-Z行程

12mm*12mm*12mm

移动精度

5um/2um/1um/0.7um/0.5um

探针夹具

同轴线缆/三轴线缆

漏电精度

同轴夹具10pA/三轴夹具100fA

接头类型

三轴接头/同轴接头/香蕉头/鳄鱼夹/裸线接口/SMA/射频接头等

材质

钨钢/铍铜

针尖半径

0.2um/0.5um/1um/2um/5um/10um/20um/50um/100um

其他选件

高温配置/镀金样品台/三轴高温卡盘/屏蔽箱/光学平台/转接头/转接线等

电力需求

220V/50Hz

可搭配仪器

源表/半导体参数分析仪/万用表/示波器/网络分析仪等


煜芯科技
专业、诚信、务实、共赢 专业探针台生产厂家
联系电话:13554631475 联系邮箱:L13554631475@163.com 联系地址:湖北省武汉市江夏区藏龙岛光谷8号工坊