产品介绍
名称：探针台
型号：G-4-H
应用：晶圆、芯片、LED测试、场晶体管、IGBT、分立器件等
测试类型：IV/CV测试、RF测试、光电测试等
搭配仪器：吉时利2400系列、4200系列、安捷伦B2900系列、1500系列等
特点：高性价比探针台，满足手动探针台的测试需求，可测4英寸晶圆，移动行程、观察视野、扎针范围可覆盖整个4英寸晶圆，高温测试温度范围室温-500℃，可升级、射频、光纤测试
产品参数： |
规格 | 标准配置 | 可选配置 |
台
体 | 样品台 | 4英寸 | 6英寸 |
样品台材质 | 铝合金 | 黄铜镀金 |
样品台是否接地 | 样品台接地 | 样品台对地绝缘，可做背电极使用 |
样品吸附 | 真空吸附，三个独立开关控制 |
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样品台XY移动行程 | 101mm*101mm |
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样品台XY移动精度 | 高精密导轨，10um移动精度 |
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样品台旋转 | 360度旋转，±10度可微调 |
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样品台升降 | 10mm升降行程 |
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针座平台 | 含磁不锈钢，表面电镀防生锈氧化 |
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温
控
器 | 温控方式 | PID，直流 |
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温度范围 | 常温-200度 | 最高500度 |
温度稳定性 | ±0.1度 |
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温度均匀性 | ±0.5度 |
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温控精度 | 0.1度 |
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探
针
座 | 探针座数量 | 2个 | 3至6个 |
探针座移动行程 | XYZ均为12mm | 25mm*25mm*12mm |
探针座移动精度 | 2.0um | 5.0um、1.0um、0.7um、0.6um、0.5um |
探针座测试类型 | 直流测试 | 射频测试、光谱测试 |
探
针
夹
具 | 探针夹具数量 | 2个 | 3至6个 |
探针夹具接头 | BNC三轴公 | BNC同轴公、香蕉头、SMA |
探针固定方式 | 管状固定 | 弹簧固定 |
可耐电压 | 1000V |
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可耐电流 | 10A |
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漏电精度 | 100fA |
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探
针 | 探针材质 | 钨钢 | 铍铜、镀金 |
探针针尖 | 针尖半径0.5um至100um可选 |
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探针类型 | 直流探针 | 射频探针 |
显
微
镜 | 显微镜类型 | 三目体视显微镜 | 单筒显微镜 |
显微镜倍率 | 16X-100X | 10X-400X |
显微镜移动 | 龙门架稳定结构，精密调节XY行程50mm*50mm |
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显微镜升降 | 50mm |
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工业
相机 | 显示器 | 11.6寸 | 21寸等其他尺寸 |
工业相机 | 1200万像素，HDMI高清接头 |
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拍照、录像 | 可拍照、录像 |
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测量 | 接电脑可测量 | 直接在显示器上测量 |
保存 | SD卡保存 |
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真空泵 | 真空泵 | 静音无油 |
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其他可选配置：屏蔽箱、光学平台、射频配件、光纤配件、转接头、转接线 |
