n 产品介绍
G系列探针台适用于4至6英寸晶圆以及小尺寸器件的I/V、C/V、射频测试等；在半导体、微电子、化学、物理、材料等学科领域有着广泛的应用；Y系列探针台是一款基本型探针台，结构紧凑，操作方便，功能齐全，价格实惠，适用于测试电极点大于50um的器件。
n 产品特点
- 整机一体化设计，结构紧凑占地小，可放置于手套箱内使用；²
- 最大样品可测试6英寸晶圆；
- 可搭配单筒显微镜、体式显微镜；
- 可进行I/V、C/V、射频测试、光电测试等；
- 模块化设计，可满足客户定制化需求；
n 产品参数
产品型号 技术参数 | G-4 | G-6 |
探 针 台 台 体 | 样品台 | 4 英寸 | 6 英寸 |
样品台材质 | 不锈钢；可选材质铝合金/黄铜镀金/绝缘材质 |
样品台是否接地 | 样品台对地绝缘，可做背电极使用；可选样品台接地 |
样品固定 | 真空吸附，三个独立开关控制 |
样品台XY移动行程 | 105mm*105mm |
样品台XY移动精度 | 高精密导轨，2um移动精度 |
样品台旋转 | 360度旋转，±10度可微调 |
样品台Z轴升降 | 10mm升降行程 |
针 座 平 台 | 材质 | 含磁不锈钢，表面电镀防生锈氧化 |
可容纳针座数量 | 4 个 | 6 个 |
结构 | 方形结构 | U 型结构，可兼容探针卡 |
显 示 系 统 | 显微镜类型 | 单筒显微镜、体视显微镜、单筒金相显微镜 |
显微镜倍率 | 单筒18X-120X（11.6寸显示器）；体视16X-100X； 单筒金相30X-220X（11.6寸显示器） |
调焦范围 | 50.8mm |
显微镜X-Y移动行程 | 50mm*50mm |
CCD成像系统 | 2K或4k相机，帧率60pfs，有拍照/录像/测量功能 |
探 针 座 | X-Y-Z行程 | 12mm*12mm*12mm |
移动精度 | 5um/2um/1um/0.7um/0.5um |
探 针 夹 具 | 探针夹具 | 同轴线缆/三轴线缆 |
漏电精度 | 同轴夹具10pA/三轴夹具100fA |
接头类型 | 三轴接头/同轴接头/香蕉头/鳄鱼夹/裸线接口/SMA/射频接头等 |
探 针 | 材质 | 钨钢/铍铜 |
针尖半径 | 0.2um/0.5um/1um/2um/5um/10um/20um/50um/100um |
其 他 | 其他选件 | 高温配置/镀金样品台/三轴高温卡盘/屏蔽箱/光学平台/转接头/转接线等 |
电力需求 | 220V/50Hz |
可搭配仪器 | 源表/半导体参数分析仪/万用表/示波器/网络分析仪等 |
